电子束诱导沉积钴微米线及其铁磁性

• 作者: 李永杰 杨朴 杨泽燕 王子佳 相文峰 祝筠晗 邢颖
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 钴微米线 微纳尺度 电子束诱导沉积 磁力显微镜(MFM) 铁磁绝缘体
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 359-365
• 页数: 7页
• 分类号: TM271
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.05.004

摘要

通过电子束诱导沉积的方法制备了钴(Co)微米线,并利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力/磁力显微镜(AFM/MFM)以及物性测量系统(PPMS)等手段对Co微米线的沉积尺寸、微结构、铁磁性和电学性质进行了测试和分析.研究结果表明:Co微米线轮廓清晰、均匀性好.在不同的沉积条件下,微米线的实际长度与设定长度基本一致;实际宽度数据呈类梯形分布,半高宽是设定值的2～10倍;实际厚度低于设定厚度的60％.沉积电流对Co微米线的铁磁特性有重要影响.当沉积电流大于0.5 nA时,样品呈现出良好的铁磁特性.另外,电学性能测试结果显示Co微米线呈现绝缘特性.成功制备了室温铁磁绝缘Co微米线,这将有助于深入开展微纳尺度的结构与器件的研究和应用.