大口径细光束自准直测量系统误差的实验研究

• 作者: 姚明 王劼
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 自准直系统 细光束 误差分析 实验研究 线性关系
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 光电技术及应用
• 页码范围: 426-431
• 页数: 6页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.03.023

摘要

目前的商用自准直仪并不满足纳米光学测量仪(NOM)利用细光束进行测量的要求,大口径细光束模式下的自准直测量系统存在各种误差.为了满足自准直测量系统的高精度要求,根据自准直测量原理,对大口径细光束自准直测量系统中CCD阵面与f-theta透镜焦平面不重合引入的误差进行了归纳分析,并通过相关实验对误差的线性关系进行了验证,结果证明理论计算与实验结果具有良好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王劼	中国科学院上海应用物理研究所	38	128	6.0	7.0
2	姚明	中国科学院上海应用物理研究所	1	0	0.0	0.0