原子及近原子尺度制造 ——制造技术发展趋势

• 作者: 房丰洲
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 原子及近原子尺度 原子及近原子尺度制造 制造Ⅲ 制造技术发展趋势
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 机械基础工程
• 页码范围: 1009-1021
• 页数: 13页
• 分类号: TH3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2020.09.001

摘要

探讨了制造技术发展趋势,论述了制造历史发展的三个阶段,指出原子及近原子尺度制造(ACSM)是下一代制造技术的主流发展趋势,对未来科技发展和高端元件制造具有重要意义.详细分析阐述了ACSM的主要研究内容及关键科学问题,并提出了相应的建议和措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房丰洲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	448	12.0	18.0