轴向气相沉积法F掺杂对玻璃的腐蚀作用

• 作者: 李应 陈剑 陈强 陈海斌
• 来源期刊: 现代传输
• 关键词: 轴向气相沉积法 高掺F CF4 腐蚀
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 线缆材料
• 页码范围: 78-79
• 页数: 2页
• 字数: 1789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5137.2020.01.010

摘要

利用轴向气相沉积法制备高掺F光纤预制棒过程中,CF4作为掺F源,在高温状态下,对所接触到的玻璃器皿产生腐蚀作用.本文研究了CF4气体在沉积过程对喷灯的腐蚀规律;CF4气体在玻璃化过程中对玻璃化炉的腐蚀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强		2	1	1.0	1.0
2	陈海斌		2	1	1.0	1.0
3	陈剑		2	0	0.0	0.0
4	李应		1	0	0.0	0.0