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篇名 Parylene photonics: a flexible, broadband optical waveguide platform with integrated micromirrors for biointerfaces
来源期刊 微系统与纳米工程(英文) 学科
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年,卷(期) 2020,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 331-344
页数 14页 分类号
字数 语种 英文
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