Explorer4扫描电镜参数设置方法探讨

• 作者: 宫巨龙 张春花
• 来源期刊: 特钢技术
• 关键词: 背散射电子 能谱分析 成分构成 分析参数 非金属夹杂物
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 理化检测与控制
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.16683/J.CNKI.ISSN1674-0971.2020.4066

摘要

钢中的夹杂物对钢材的性能有重要影响,为了监控夹杂物冶炼水平,需要对钢中夹杂物含量进行定量分析,通过扫描电镜利用背散射电子成像和X射线能谱分析钢中夹杂物,从样品制备以及分析时的放大倍数、帧数、图像像素、采集计数、束斑、采集驻留时间、灰度值、阈值对分析结果的影响进行了详细的分析,旨在优化各种设备参数,提高分析准确度.