AlN晶体物理气相传输法生长坩埚的热场分析

• 作者: 刘玉怀 屈艺谱 王芳 陈雪 鲁正乾
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: AlN单晶 温度场 线圈位移
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 原子分子物理交叉学科
• 页码范围: 108-112
• 页数: 5页
• 分类号: O65
• 字数: 2406字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2020.01.018

摘要

采用物理气相传输法在钨制坩埚上制备AlN单晶.通过采用COMSOL软件中的固体传热和磁场模块,对AlN晶体生长的坩埚的热场进行仿真,同时针对不同的线圈直径以及不同的线圈位置对坩埚热场的影响进行模拟,提出了相应的处理方式.结果表明:当线圈直径增大,坩埚结晶区和升华区的温度在相同的加热时间下会增加,并且增加的温度存在峰值.当线圈的垂直位置发生变化的时候,结晶区和升华区的温度场也会发生变化,从上向下移动的过程中仍然存在温度的峰值,并且结晶区和升华区的温度关系会发生翻转,导致温度梯度阻碍晶体生长.在晶体生长过程中升华区和结晶区的温度关系依旧会发生翻转.但是通过线圈跟随籽晶表面生长层的变厚而同步移动,可以保持相对稳定的温度关系,维持晶体正常持续生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王芳	郑州大学信息工程学院	385	1344	14.0	22.0
2	陈雪	郑州大学信息工程学院	11	12	2.0	3.0
3	刘玉怀	郑州大学信息工程学院	5	3	1.0	1.0
4	鲁正乾	郑州大学信息工程学院	1	0	0.0	0.0
5	屈艺谱	郑州大学信息工程学院	2	0	0.0	0.0