光学元件残余应力无损检测技术概述

• 作者: 李斌成 肖石磊
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件 残余应力 双折射 应变
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 47-57
• 页数: 11页
• 分类号: TH74|TN249
• 字数: 6252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2020.190068

摘要

残余应力是光学元件的一个重要性能参数,对光学元件的制造和使用意义重大.光学元件残余应力的无损检测方法可粗略概括为两大类:一类是基于应变的测量方法,包括X射线衍射法、Stoney曲率法和显微拉曼光谱法,这些方法基于晶体和弹性力学分析方法,发展成熟、应用广泛;另一类是基于应力双折射效应的测量方法,包括数字光弹法、光弹调制器法和偏振光腔衰荡法,都是对残余应力导致的双折射相位差的测量,具有更直接的光学关联性、测量精度高的特点.本文归纳了光学元件残余应力测量的几种常见方法的测量原理、测量精度和应用场景,对比了它们的性能并分析了它们之间的关联性,以期建立起光学元件残余应力无损检测的宏观印象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李斌成	电子科技大学光电科学与工程学院	11	31	3.0	5.0
2	肖石磊	电子科技大学光电科学与工程学院	2	2	1.0	1.0