大口径非球面的计算全息补偿器误差影响分析

• 作者: 汪艳 陶冶 张蓉竹
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径非球面 双CGH 空间频率 光场分析 加工误差
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 45-52
• 页数: 8页
• 分类号: TB851|O436.1
• 语种: 中文

摘要

大口径非球面的高精度检测中,补偿元件的质量对检测结果有直接影响.针对大口径抛物面计算全息板(CGH)因其空间频率高,误差控制难度大的问题,通过一个具体的设计,分析了加工过程中定位误差引起的光场畸变.为了减小误差的影响,采用双CGH光路进行非球面检测,具体分析了双补偿器结构非工作级次衍射光的分离情况,以及定位误差带来的光场畸变.结果显示:双CGH结构的最大空间频率远小于单片结构,其定位误差带来的光场畸变的RMSE值是相同条件下单片结构的0.65倍.这表明在补偿检测大口径非球面时,采用双CGH补偿元件,在满足设计要求的同时能很好的抑制其加工误差带来的影响.