高一致性电容型次声传感器研究

• 作者: 刘超 周瑜 张乐意 王坤博 马春宇 高硕
• 来源期刊: 电声技术
• 学科: 工学
• 关键词: 次声传感器 一致性误差控制 灵敏度
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 器件与应用
• 页码范围: 76-79
• 页数: 4页
• 分类号: TN641
• 字数: 2288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16311/j.audioe.2020.05.017

摘要

对电容型次声传感器一致性影响因素及控制方法展开研究.基于圆形固支振膜模型得到一致性误差表达式,并推导各结构模块加工误差与传感器一致性对应关系.在此基础上,采用激光测振法精确测量振膜谐振频率,实现谐振频率误差控制;采用高精度阻抗分析仪精确测量极头电容值,实现极间距误差控制.通过12台次声传感器灵敏度对比实验,验证了一致性误差控制理论的有效性.实验结果表明,通过控制振膜谐振频率和极间距能够实现次声传感器灵敏度调节,使一致性误差小于5％,研究结果能够指导次声传感器参数设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘超	中国电子科技集团公司第三研究所	39	34	3.0	4.0
2	马春宇	中国电子科技集团公司第三研究所	3	1	1.0	1.0
3	周瑜	中国电子科技集团公司第三研究所	19	19	2.0	4.0
4	王坤博	中国电子科技集团公司第三研究所	5	12	1.0	3.0
5	高硕	中国电子科技集团公司第三研究所	3	1	1.0	1.0
6	张乐意	中国电子科技集团公司第三研究所	2	0	0.0	0.0