基于立体相位测量偏折术的预应力薄镜面形检测

• 作者: 刘元坤 张启灿 汉语 赵文川 陈贞屹
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学面形检测 立体相位测量偏折术 系统误差 预应力抛光
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 80-88
• 页数: 9页
• 分类号: TN247|TH741
• 字数: 3076字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2020.190435

摘要

应力抛光技术通过在镜面上施加预定载荷,将包括自由曲面在内的非球面转化为球面进行加工,对加工镜面的形变进行精准检测是实现高精度应力抛光的关键.利用立体相位测量偏折术对预应力薄镜进行镜面面形和形变检测,获得被测镜表面的连续相位分布,结合表面法线唯一性与梯度分布积分,最终得到被测镜的高度分布和面形.模拟了系统误差成分,同时采用旋转平均法对系统误差进行标定去除,保证和提高了测量精度.对一块口径320 mm,球面半径5200 mm的预应力薄镜面形和变形量进行测量,静态测量结果与三坐标机测量结果对比,动态应变测量结果与有限元仿真结果对比,分别一致吻合,表明本文方法具备微米级的测量精度,相比于干涉仪和三坐标机更适用于大面形变化的预应力薄镜检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张启灿	四川大学电子信息学院	72	722	14.0	25.0
2	刘元坤	四川大学电子信息学院	33	355	11.0	18.0
3	汉语	中国科学院光电技术研究所	4	9	2.0	3.0
4	赵文川	中国科学院光电技术研究所	6	47	4.0	6.0
5	陈贞屹	四川大学电子信息学院	1	0	0.0	0.0