大口径强激光光学元件超精密制造技术研究进展

• 作者: 侯晶 周炼 安晨辉 廖德锋 徐曦 朱玉洁 樊非 汪圣飞 王健 许乔 谢瑞清 赵世杰 邓文辉 钟波 陈贤华 雷向阳
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率固体激光装置 大口径光学元件 光学超精密制造技术 确定性抛光
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-13
• 页数: 13页
• 分类号: TH74
• 字数: 3907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2020.200135

摘要

惯性约束聚变高功率固体激光装置研制对大口径光学元件提出了全频段精度控制指标要求,以及高效率、批量化制造需求.本文围绕"超精密、确定性"强激光光学元件全流程制造方法,总结了近几年大口径强激光光学元件超精密制造技术取得的重要进展,重点介绍了单点金刚石超精密切削技术、非球面超精密数控磨削技术、确定性抛光技术等一系列关键技术,以及相关工艺及装备在强激光光学元件批量制造流程线中的应用情况.