石墨烯/PDMS仿生银杏叶微结构柔性压阻式压力传感器

• 作者: 丑修建 侯晓娟 张辽原 李伊梦
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式压力传感器 仿生银杏叶微结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 石墨烯油墨 柔性材料
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 198-203
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.03.005

摘要

柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分.在实际应用中,对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切.以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏叶微结构的柔性压力传感器.利用扫描电子显微镜(SEM)表征了传感器的表面形貌.结果 表明,仿生银杏叶表面的微结构包括平行叶脉和各种形状不一的凸起.该传感器具有1.56 kPa-1的高灵敏度和22.6 Pa～20 kPa的宽线性范围,当施加不同的载荷时有明显的台阶现象,并且可以在10 000次的循环压力测试下保持稳定良好的性能.传感器的响应时间缩短至80 ms左右.此外,该压阻式压力传感器可用于检测人体关节的运动,表明其在健康监测和电子皮肤中应用潜力巨大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丑修建	中北大学仪器科学动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
2	侯晓娟	中北大学仪器科学动态测试教育部重点实验室	6	2	1.0	1.0
3	李伊梦	中北大学仪器科学动态测试教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	张辽原	中北大学仪器科学动态测试教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0