高纯气体管路系统颗粒物产生原因分析及防治

• 作者: 万烨 严大洲 刘见华 王磊 赵宇 赵雄
• 来源期刊: 有色冶金节能
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯气体 颗粒物 管路系统 洁净度
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: TU834.8+53
• 语种: 中文
• DOI: 10.19610/j.cnki.cn11-4011/tf.2020.06.005

摘要

精密加工制造中颗粒物含量影响产品质量和成品率,是评价高纯系统的重要指标之一.高纯管路系统的颗粒物来自于高纯材料的制造、管道材料表面的杂质、产品气体自身携带的污染物、控制阀门和过滤器、施工安装产生的污染.通过分析颗粒物来源,从材料的纯化、表面处理、阀门和过滤器选型、焊接质量控制、管道安装、预制加工作业环境的洁净度控制几方面提出颗粒物防治措施建议.