溅射功率对ZrNx薄膜微观结构、表面形貌及浸润性能的影响

• 作者: 安涛 鞠金宁
• 来源期刊: 长春大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 ZrNx薄膜 微观结构 表面形貌 润湿性
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3234字
• 语种: 中文

摘要

利用射频磁控溅射技术,通过改变溅射功率,得到一系列ZrNx纳米薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及接触角测量仪表征了薄膜的微观结构、表面形貌及润湿性能.结果表明,随着溅射功率的增加,薄膜的结晶性变好,在200W时XRD衍射峰强度最高.溅射功率的增加也使得薄膜表面形貌的颗粒尺寸增加.受原子阴影效应的影响,在溅射功率较低时薄膜表面颗粒独立生长,在溅射功率达到200W时由于溅射到衬底表面的粒子有足够的能量进行迁移,薄膜表面开始形成团簇.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安涛	长春大学理学院	14	20	3.0	4.0
2	鞠金宁	长春大学材料设计与量子模拟吉林省高校重点实验室	3	0	0.0	0.0