用于脉搏波检测的背接触式触觉传感阵列单元

• 作者: 于婷婷 孙珂 杨恒 裴彬彬 钟朋 陈建中
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性触觉传感器 背接触式 转移工艺 模块化结构 无电极化学腐蚀自停止 脉搏波检测
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 492-499
• 页数: 8页
• 分类号: TN303
• 字数: 4407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.04.003

摘要

触觉传感器在脉搏波测量、仿生机器人等领域有重要应用.该方案制作背接触式传感器,并通过转移工艺实现芯片加工和圆片级芯片尺寸封装一体化,用组装工艺低成本实现大面积柔性触觉阵列;采用模块化设计,正压力与剪切力传感单元的尺寸和布线相同,制作可组装的标准单元;在传感器转移工艺中,采用无电极化学腐蚀自停止工艺,提高成品率.传感单元尺寸仅为300μm×300μm,与人类触觉传感的极限可比拟,灵敏度为2 mV/10 kPa,量程为150 kPa,已用于研制新型脉诊仪的柔性传感阵列,实现了脉搏波的实时测量.