浅析2019年度微系统关键技术进展

• 作者: 杨依宁 刘万成
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微系统技术 微传感器 微处理器 微集成技术
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-7,27
• 页数: 8页
• 分类号: TN211
• 语种: 中文

摘要

微系统技术是以微纳尺度理论为支撑,微集成工艺为基础,并通过功能模块集成,实现单一或多种用途融合的综合性前沿技术.应用微系统技术对加速光电系统性能的全面提升、有效降低成本具有重要意义.以2019年度微系统领域关键技术进展为基础,讨论目前光电领域微系统技术的难点问题,为该领域研究人员提供参考.