基于新型激光干涉仪的玻璃测厚实验装置

• 作者: 周新磊 王晓娜 陈珂 陶鹏程
• 来源期刊: 实验科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 双光束干涉 玻璃测厚 线阵CCD LabVIEW
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 实验仪器研制
• 页码范围: 134-139
• 页数: 6页
• 分类号: TP274.4
• 字数: 2575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12179/1672-4550.20190193

摘要

设计了一种用于玻璃厚度测量的空间相位调制型激光干涉仪,该干涉仪主要由垂直腔面发射激光器(VCSEL),单模光纤和线阵电荷耦合器件(CCD)组成,玻璃上、下表面的反射光产生双光束干涉,生成的空间相位调制干涉图像被CCD探测,图像的空间频率与玻璃厚度成比例,厚度测量分辨率可以达到纳米量级.该玻璃测厚教学实验装置具有体积小和成本低等优势,涉及光学干涉、激光原理、光电探测、现场可编程门阵列(FPGA)、电子电路、虚拟仪器、数字信号处理等诸多内容,适合于高年级本科生的教学实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓娜	大连理工大学物理学院	46	150	5.0	11.0
2	陶鹏程	大连理工大学光电工程与仪器科学学院	4	1	1.0	1.0
3	周新磊	大连理工大学光电工程与仪器科学学院	8	13	3.0	3.0
4	陈珂	大连理工大学光电工程与仪器科学学院	5	5	1.0	2.0