蓝宝石衬底表面缺陷成因分析与改进措施

• 作者: 刘建飞 吴丽琼 周志豪 黄建烽
• 来源期刊: 工业技术创新
• 学科: 物理学
• 关键词: 蓝宝石衬底 表面缺陷 量产 失效模式 接触式检测 非接触式检测
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 共性技术
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: O77
• 字数: 2755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14103/j.issn.2095-8412.2020.03.010

摘要

蓝宝石衬底在实际量产中,约10％～15％会产生表面缺陷,导致成品返工或报废,经济损失较大.分析实际量产作业中设备与工艺过程,探究和比较刮伤、坑洞、气泡、颗粒、崩角、色差共6种表面缺陷的失效模式,提出了技术和工艺改善措施.在检测方式上,对比了接触式及非接触式检测工具与原理,探讨了各自的分辨率与呈现方式,为得到更有效的改善技术和工艺奠定了基础.过程改进后,量产作业表面缺陷占比降低至5％～8％.若要实现更低的表面缺陷占比,需进一步改良工艺过程和机台硬件配置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周志豪		8	1	1.0	1.0
2	吴丽琼		3	0	0.0	0.0
3	刘建飞		3	0	0.0	0.0
4	黄建烽		1	0	0.0	0.0