原子层热电堆热流传感器研制及其性能测试

• 作者: 朱新新 朱涛 杨凯 杨庆涛 王辉 王雄 陶伯万
• 来源期刊: 实验流体力学
• 学科: 工学
• 关键词: 原子层热电堆 热流传感器 标定 灵敏度系数 响应时间 激波风洞 横向塞贝克效应
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 实验设备及方法
• 页码范围: 86-91
• 页数: 6页
• 分类号: V441|TP212.11
• 语种: 中文
• DOI: 10.11729/syltlx20190148

摘要

针对高超声速风洞试验中对高频热流脉动的测试需求,研制了一种基于横向热电效应的原子层热电堆(Atomic Layer Thermopile,ALTP)热流传感器.利用弧光灯热流传感器标定系统对其进行静态标定,获得ALTP热流传感器的灵敏度系数约为8.24μV/(kW·m-2),优于国外同尺寸敏感元件的ALTP热流传感器6.90μV/(kW·m-2)的灵敏度系数;利用激波风洞试验,并通过与薄膜热电阻热流传感器对比,初步获得ALTP热流传感器的响应时间上限,响应时间小于0.20μs.