基于MEMS工艺的安全起爆芯片

• 作者: 任小明 任炜 刘云 刘兰 薛艳
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 安全起爆芯片 MEMS技术 Ni-Cr换能元 性能测试
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TJ45+9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2020.06.003

摘要

针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种基于MEMS工艺的安全起爆芯片,采用MEMS工艺制作了Ni-Cr换能元层、绝缘层、导线层,一体化集成了含平面开关的安全起爆芯片;通过对形貌、表面粗糙度、厚度等进行表征分析,确定了结构参数,并对安全起爆芯片性能进行了测试.结果表明MEMS平面开关实现了通断转换,可以提高安全起爆芯片的安全性.本研究为MEMS火工品安全性技术提供支撑.