基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术

• 作者: 任小明 刘兰 刘卫 薛艳 解瑞珍 陈建华
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 换能元 电极塞 MEMS技术 集成
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TJ450.3+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2020.06.005

摘要

针对传统电火工品桥丝焊接存在虚焊、人工效率低等问题,开展了基于MEMS工艺的电极塞换能元一体化集成技术研究.提出了电极塞换能元一体化集成设计的方案,通过在传统电极塞中引入MEMS工艺,形成了一体化集成的电极塞换能元.所设计的电极塞换能元具有平面结构、无人工焊接、批量化等特点,在10μF/15V条件下能够可靠作用.本研究为新一代电火工品设计提供技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解瑞珍		12	27	3.0	5.0
2	薛艳		10	27	3.0	5.0
3	任小明		8	24	3.0	4.0
4	刘兰		7	18	2.0	4.0
5	陈建华		10	7	2.0	2.0
6	刘卫		4	1	1.0	1.0