防离子反馈微通道板表面碳污染去除的试验研究

• 作者: 乔凯 刘峰 刘旭川 师宏立 张妮 李丹 杨晓军 郝子恒
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: C污染 防离子反馈MCP 紫外辐照 氢气处理
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 微光与紫外
• 页码范围: 747-751
• 页数: 5页
• 分类号: TN223
• 字数: 3358字
• 语种: 中文

摘要

针对带防离子反馈膜的微通道板(MCP)普遍存在的C污染现象,开展了真空热处理、紫外臭氧辐照及氢气热处理试验,对各个试验结果进行了MCP电性能测试及俄歇电子能谱(AES)研究,着重分析了MCP表面C含量及MCP性能随不同试验方法的变化趋势.试验结果表明,C含量的降低对MCP性能的提升具有显著作用,真空热处理对C的分解作用甚微,紫外臭氧辐照及氢气热处理均可以较为彻底地去除MCP表面C污染,并且氢气热处理对MCP增益性能的提升作用显著,效率最高.