四氟化硅生产工艺研究进展

• 作者: 孙文哲 张玲 王喜恒
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 四氟化硅 氟硅酸 氟硅酸盐 制备工艺
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 35-38,72
• 页数: 5页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.11962/1006-4990.2019-0098

摘要

四氟化硅作为生产多晶硅及其衍生物的原料,随着电子工业的发展以及硅基产业的扩大,对于四氟化硅的需求量逐渐增加.对四氟化硅生产工艺的研究越来越引起人们的重视.详细介绍了制备四氟化硅的4种方法,含硅源物质与含氟基团物质合成法、氟硅酸盐热解法、氟硅酸法、硫酸法,综述了国内外制备四氟化硅的研究进展情况,并评述了各工艺的特点.就目前研究表明,四氟化硅制备工艺需向环保、节能、高收率方向发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙文哲	上海海事大学商船学院	48	136	6.0	9.0
2	王喜恒	上海海事大学商船学院	3	0	0.0	0.0
3	张玲	上海海事大学商船学院	4	34	1.0	4.0