波长渐变滤光片的设计与测试探讨

• 作者: 任少鹏 王忠连 王瑞生 班超 胡雯雯 阴晓俊 高鹏
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 波长渐变滤光片 渐变掩膜板 磁控溅射 渐变光谱测试
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: O436|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.01.04

摘要

基于膜厚渐变-波长渐变的原理设计了波长渐变滤光片,介绍了基于反应磁控溅射镀膜工艺制造波长渐变滤光片的制备工艺,设计了渐变膜厚的修正掩膜板.探讨了波长渐变滤光片的测试技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阴晓俊		10	20	3.0	4.0
2	胡雯雯		3	3	1.0	1.0
3	高鹏		6	13	2.0	3.0
4	任少鹏		5	9	2.0	3.0
5	王忠连		5	4	1.0	2.0
6	王瑞生		7	14	3.0	3.0
7	班超		2	0	0.0	0.0