压电谐振器双闭环驱动电路研究

• 作者: 吴校生 李志超 梁天晨
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振器 驱动电路 频率跟踪 稳幅 锁相环 自动增益
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 322-326
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.03.005

摘要

压电谐振器是谐振式传感器和执行器的核心部件,通常工作在共振和稳幅状态.采用一种锁相环(PLL)和自动增益(AGC)相结合的双闭环控制驱动电路,分别实现了谐振器共振频率的跟踪激励和压电振子输出信号的稳幅控制.优化设计了双闭环电路中各元器件参数,使得压电振子能稳定工作在谐振频率点.参照压电谐振器开环测试数据和闭环测试数据,双闭环驱动电路能将谐振器相位锁定在59°(误差3°),输出信号峰峰值稳定在12.8V(误差0.2V).实验结果表明,该电路设计能够达到稳定谐振器输出信号幅值和跟踪谐振器共振频率的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴校生	上海交通大学微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室	15	65	4.0	7.0
2	李志超	上海交通大学微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室	7	2	1.0	1.0
3	梁天晨	上海交通大学微纳电子学系微米纳米加工技术国家级重点实验室	2	0	0.0	0.0