用水分子质谱仪进行电容器真空浸渍过程终点判断的研究

• 作者: 乔保振 乔木 于清明 于胜斌 张保国 王英武
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空浸渍 真空终点判断 质谱 残余气体 水质谱仪
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: TB71|TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.01.02

摘要

如何在保证电容器真空浸渍质量的前提下,尽量缩短抽真空时间、降低成本,是各个电容器生产厂家非常关注的问题.长期以来,由于没有客观的测量数据对真空浸渍终点进行有效判断,往往使得抽真空阶段时间无故延长.本文介绍一种最新研制成果水分子质谱仪,可测量和计算出被抽气体水蒸气分子的个数.从分子量级,对电容器真空浸渍终点进行判断,从而实现对真浸过程的终了时间进行准确有效地判断.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔保振		8	8	2.0	2.0
2	王英武		5	1	1.0	1.0
3	乔木		2	0	0.0	0.0
4	于胜斌		2	0	0.0	0.0
5	于清明		2	0	0.0	0.0
6	张保国		1	0	0.0	0.0