低损耗Al2O3薄膜离子束溅射法制备与性能研究

• 作者: 李钱陶 李定 熊长新
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 低损耗薄膜 光学吸收 离子束溅射 表面均方根粗糙度 消光系数
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 光电薄膜
• 页码范围: 91-95
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1+1
• 语种: 中文

摘要

采用离子束溅射技术在反射率大于99.999 7％、中心波长(λ)为635 nm的35层高反波堆表面镀制2M(光学厚度为λ/2)的Al2O3低损耗薄膜.测量分析样品制备不同阶段的表面均方根粗糙度、反射率,通过理论分析,计算得出了2MAl2O3薄膜的光学吸收.研究分析了氧气流量对Al2O3薄膜吸收、表面均方根粗糙度的影响.结果显示,氧气流量对Al2O3薄膜的表面均方根粗糙度影响较小,表面均方根粗糙度优于0.15 nm;随着氧气流量增加,2M Al2O3薄膜的吸收先减小,达到最小极值后再增加;采用优化后的工艺,可以稳定地获得消光系数优于5×10-6的Al2O3薄膜.对进一步降低Al2O3薄膜的弱吸收和扩展Al2O3薄膜的应用有指导意义.