真空退火对磁控溅射CuS-MoS2涂层润滑性能的影响

• 作者: 曹明 林继兴 赵岚
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CuS-MoS2涂层 真空退火 润滑性能
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 88-93,112
• 页数: 7页
• 分类号: TH117.2
• 字数: 4647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2020.04.015

摘要

为提高MoS2润滑涂层承载力和抗湿性能,使用磁控溅射技术制备CuS掺杂MoS2复合涂层,并对制备涂层进行220、320和420℃真空退火处理,以发挥CuS与MoS2协同润滑作用.采用场发射扫描电子显微镜、 激光拉曼光谱分析涂层结构,通过洛氏硬度压痕试验、摩擦磨损试验和纳米压痕试验对涂层性能进行分析.实验结果表明:随CuS靶溅射功率提高,涂层中出现颗粒长大和CuS结晶化趋势,且CuS掺杂抑制了MoS2形核长大,涂层膜-基结合力有所下降;真空退火处理后CuS-MoS2复合涂层表面发生分解,厚度明显降低,MoS2(002)相形核长大,摩擦学性能得到提升;320℃退火处理后涂层在常温和RH70％大气环境下获得最低平均摩擦因数0.08,纳米硬度达到5.64 GPa,并具有较好的耐磨损性能.研究认为由于CuS受热分解导致复合涂层结构和成分变化,生成了有利于发挥CuS与MoS2协同润滑效应的微晶相,使得涂层润滑性能得到明显提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林继兴	浙江工贸职业技术学院材料工程系	26	74	5.0	7.0
2	赵岚	浙江工贸职业技术学院材料工程系	13	14	2.0	3.0
3	曹明	吉林大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0