基于PdO/Si异质结的近红外光电探测器

• 作者: 吴燕 左焕涣 罗和昊 范琦 陈博瀚
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 光电探测器 氧化钯 异质结 近红外
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 新型传感材料与器件专题
• 页码范围: 27-32,63
• 页数: 7页
• 分类号: TN36
• 字数: 3438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0358

摘要

为了探索PdO薄膜的光电性质,采用电子束和CVD高温氧化技术在N型Si上生长了PdO薄膜,使用X射线衍射仪(XRD)、 拉曼光谱仪(RAMAN)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的成分和形貌进行表征.研制了PdO/Si异质结光电探测器,并对探测器进行光电性能测试.实验结果表明,探测器具有优异的整流特性,在波长为970 nm的光照下,开关比高达9.8×103,并具有优异的空气稳定性和耐久性.因此当前器件在未来的NIR光电系统中具有巨大的应用潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范琦	合肥工业大学电子科学与应用物理学院先进半导体器件与光电集成实验室	2	2	1.0	1.0
2	陈博瀚	合肥工业大学电子科学与应用物理学院先进半导体器件与光电集成实验室	1	0	0.0	0.0
3	左焕涣	合肥工业大学电子科学与应用物理学院先进半导体器件与光电集成实验室	1	0	0.0	0.0
4	吴燕	合肥工业大学电子科学与应用物理学院先进半导体器件与光电集成实验室	1	0	0.0	0.0