预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析

• 作者: 王倩 苏丹 赵江山
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 气体放电 流体模型 预电离 击穿电压
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 517-522
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.04.013

摘要

利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟,通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况,分析了预电离效应对准分子激光系统放电特性的影响,并探究了不同气体参数下的预电离效果.结果 表明,初始预电离强度对于极间击穿电压、ArF准分子的形成以及光输出特性均有显著影响.在保证均匀电场且有效放电的情况下,低的初始预电离强度难以“点燃”气体,但可以获得较高的激光输出能量,而提高初始预电离强度能有效降低击穿电压,却不利于气体对能量的吸收转化.此外,预电离效果受工作气压与F2比例的影响,气压的升高或F2浓度的增加,均会降低预电离的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王倩	中国科学院微电子研究所	85	578	12.0	22.0
7	苏丹	中国科学院微电子研究所	21	484	12.0	21.0
16	赵江山	中国科学院微电子研究所	7	39	2.0	6.0