白光干涉仪在金属材料表面测试中的应用研究

• 作者: 冯辉 韦博鑫 刘鲁生 张重远
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 材料科学 白光干涉仪 表面测试 磨斑 蚀坑
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 80-85
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文

摘要

为了从微观角度分析材料服役损伤机理,快速准确地测量材料表面微观形貌,对白光干涉技术进行了理论分析,并采用白光干涉技术对磨斑、蚀坑两种不同类型的材料损伤形貌进行了具体的测试研究.测试结果表明,白光干涉仪可以准确地测量出磨斑、蚀坑的二维和三维形貌及深度分布数据.测得磨斑深度为45.68 μm,腐蚀后的材料表面最大点蚀坑的深度为5.14 μm.白光干涉仪适合于测试材料服役损伤后表面的三维形貌和数据.利用此技术可以对材料微观表面形貌进行快速精确的测量,对深入理解材料服役行为及寿命预测具有参考意义.