模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖

• 作者: 杨金鹤 梁军生 王大志 王立鼎 胡亚明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米尖 硅模具 各向异性刻蚀 微电铸 种子层
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1500-1509
• 页数: 10页
• 分类号: TN205|TN305.7
• 字数: 4325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/OPE.20202807.1500

摘要

为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证.利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40％的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具,采用磁控溅射与正胶剥离工艺获得了厚度为200 nm的Ni种子层薄膜并进行金属图形化,之后进行微电铸实验,最后,利用KOH腐蚀硅模具以释放金字塔型实体Ni纳米尖.实验结果表明:利用ICP干法刻蚀代替HF酸腐蚀SiO2掩蔽窗口,可将模具制作的相对误差降低约9％;金字塔型Ni纳米尖的底部边长尺寸约为140 μm,纳米尖最小曲率半径为54 nm;微电铸工艺复制精度约为99％.采用微电铸工艺并结合硅片自停止刻蚀技术,能够稳定可靠地制备出金字塔型Ni纳米尖,实现了金属纳米尖的批量化制备,从而降低了制造成本,为纳米尖的广泛应用奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	130	1877	24.0	38.0
2	王大志	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	29	41	3.0	5.0
3	梁军生	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	23	53	4.0	6.0
7	胡亚明	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	3	0	0.0	0.0
8	杨金鹤	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	2	0	0.0	0.0