高温大压力传感器研究现状与发展趋势

• 作者: 刘德峰 李欣 邹兴 郭占社 黄漫国
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高温大压力传感器 单晶硅 多晶硅 硅-蓝宝石 碳化硅 光纤
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5,32
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3538字
• 语种: 中文

摘要

高温环境下大量程压力测量技术在工业、航空航天、石油勘探等领域具有广阔的应用前景.高温大压力传感器是目前研究的热点.对目前几种常用的高温大压力传感器包括多晶硅高温压力传感器、单晶硅(SOI)压力传感器、硅-蓝宝石(SOS)高温压力传感器、SiC高温压力传感器、光纤高温压力传感器的工作原理、国内外研究现状以及应用特点进行了阐述.最后,对高温大压力传感技术未来的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭占社	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	89	5.0	8.0
2	邹兴	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	3	3	1.0	1.0
3	刘德峰		5	1	1.0	1.0
5	黄漫国		3	0	0.0	0.0
9	李欣		4	0	0.0	0.0