蓝宝石湿法刻蚀各向异性特征的试验

• 作者: 张辉 幸研
• 来源期刊: 江苏大学学报（自然科学版）
• 关键词: 蓝宝石 图案化 各向异性 湿法刻蚀 晶面刻蚀速率
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 页码范围: 530-534
• 页数: 5页
• 分类号: TP319
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2020.05.006

摘要

针对蓝宝石晶体复杂的各向异性刻蚀特性,致使其刻蚀演化过程和结果难以预测和控制等问题,利用刻蚀半球法,获得了蓝宝石晶体在温度为(245±3)℃,体积比为V(98％H2 SO4):V(85％H3 PO4)=3:1的混合浓酸溶液中刻蚀的全晶面刻蚀速率.对比分析了典型掩膜形状下的刻蚀微结构特征,探寻了速率各向异性特征与微结构刻蚀成型结构面之间的联系.结果表明:蓝宝石全晶面刻蚀速率呈现典型3次对称和多极值分布,且赤道附近刻蚀速率极低;浓磷酸作为刻蚀缓冲剂可以显著减少刻蚀过程中各类微观凸起的产生,有效提高微结构表面加工质量.