高精度楔形棱镜加工中的检测技术

• 作者: 冀永曼 杨应坡
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 楔形棱镜 坐标测量 光学测量 确定性抛光 形位误差
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 568-573
• 页数: 6页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文

摘要

棱镜广泛应用于各种光学系统中.实际应用中,仅有部分具有特定角度的棱镜能够达到较高的形位精度,主要受到这类光学元件加工过程中检测能力的限制.对一个非特殊夹角的楔形棱镜,提出粗加工和精加工过程的加工工艺和检测方法.该楔形棱镜最终达到的精度为:有效口径内面形误差PV值优于0.2λ(1λ=632.8nm),楔角误差和塔差优于5".结果 表明加工工艺和检测方法,可以实现楔形棱镜的高精度制造,对于其他夹角的此类光学元件制造也能提供有效指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冀永曼		8	18	3.0	4.0
2	杨应坡		1	0	0.0	0.0