6寸蓝宝石衬底清洁优化工艺的研究

• 作者: 刘建飞 吴丽琼 周志豪 李瑞评 陈铭欣
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 毛刷材质 双流体 工艺优化
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 15-16
• 页数: 2页
• 分类号: TU65
• 字数: 1661字
• 语种: 中文

摘要

本文研究6寸蓝宝石衬底表面清洁度的优化工艺,探讨清洗工艺对其影响清洁度的主要因素以及测试毛刷材质对清洗的影响,引用了双流体喷雾与物理及化学相结合的清洗方式,使表面残留颗粒数降低至约21颗.本研究揭露了相关清洗方法与参数,可提供批量生产时的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周志豪		8	1	1.0	1.0
2	吴丽琼		3	0	0.0	0.0
3	刘建飞		3	0	0.0	0.0
4	李瑞评		3	0	0.0	0.0
5	陈铭欣		6	1	1.0	1.0