一款S波段双通道FBAR滤波器

• 作者: 李丽 王胜福
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双通道 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片 S波段 匹配电路 插入损耗 带外抑制
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 半导体集成电路
• 页码范围: 675-679
• 页数: 5页
• 分类号: TN454|TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.09.003

摘要

研制了一款S波段双通道薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器,其两个通带频率分别为(2 000±45)MHz和(2 800±45)MHz,在两个通道的输入、输出端分别加入匹配电路.FBAR滤波器芯片采用阶梯型电路结构设计,采用声电磁协同仿真方法对各个通道的FBAR滤波器分别进行了仿真设计.匹配电路采用由低通滤波器和高通滤波器构成的双工器方案实现.对印制电路板、FBAR滤波器芯片和匹配电路进行了一体化仿真.FBAR滤波器芯片采用自主的FBAR标准工艺实现,双通道FBAR滤波器采用微波混合集成电路工艺实现,其体积为12.2 mm×12.2 mm×4.8 mm.滤波器采用陶瓷外壳进行了气密封装,具有免调试、参数一致性好的特点,拓宽了FBAR滤波器的应用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丽	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	94	6.0	9.0
2	王胜福	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	38	4.0	6.0