金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制

• 作者: 于岐 刘鲁生 卢志刚 史丹 周美琪 喻彪 姜辛 宋昊哲 李海宁 杨兵 翟朝峰 袁子尧 陈滨 黄楠
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜连续制备 HFCVD 镀膜流程
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.01

摘要

根据目前热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapour Deposition,HFCVD)金刚石薄膜制备设备现状:存在热丝多为水平放置碳化变脆后易发生断裂、不能实现CVD金刚石薄膜的连续制备、生产成本高及制备效率低等缺点,依据热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的原理,应用Solidework三维设计软件进行三维建模,结合机械设计软件制图,研制出了该型金刚石薄膜连续制备HFCVD设备,并给出了连续镀膜的工艺流程,采用该设备成功批量生长出质量良好的金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨兵	中国科学院金属研究所	24	143	7.0	11.0
2	黄楠	中国科学院金属研究所	8	19	2.0	4.0
3	史丹	中国科学院金属研究所	2	6	1.0	2.0
4	卢志刚	中国科学院金属研究所	12	78	6.0	8.0
5	刘鲁生	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
6	翟朝峰	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
7	宋昊哲	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
8	于岐	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
9	袁子尧	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
10	陈滨	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
11	周美琪	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
12	李海宁	中国科学院金属研究所	4	23	1.0	4.0
13	喻彪	中国科学院金属研究所	1	0	0.0	0.0
14	姜辛	中国科学院金属研究所	3	0	0.0	0.0