射频容性耦合等离子体阻抗影响因素研究

• 作者: 吴勤斌 张宇飞 王学禹 田迪凯 罗日成 肖宏峰 黄军
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 容性耦合等离子体 等离子体阻抗 氦气放电 放电参数
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 458-464
• 页数: 7页
• 分类号: TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.05.12

摘要

为了进一步探索射频容性耦合放电等离子体,本文建立了以容性耦合等离子体(CCP)为基础的板-板电极一维轴线简化仿真模型.仿真采用氦气为工作气体,使用约化电子传递属性并忽略重粒子对流,利用有限元算法,综合讨论了一定范围内放电参数(气体压强、输入功率、电极直径以及间隙长度)变化时,放电等离子体阻抗的变动情况,并根据仿真所得数据进行理论分析.结果 表明:四种仿真条件下的等离子体均呈现容抗特性;当气压升高、放电间隙长度变大时,初期均有利于碰撞电离的发生,而后将成为限制因素,使得等离子体阻抗呈现先减小后升高的变化趋势;当电极直径增大、输入功率增加时,初期等离子体阻抗均呈下降趋势,但后续变化趋于平稳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗日成	长沙理工大学电气与信息工程学院	63	496	13.0	20.0
2	吴勤斌	长沙理工大学电气与信息工程学院	2	6	1.0	2.0
3	王学禹	长沙理工大学电气与信息工程学院	1	0	0.0	0.0
4	黄军	长沙理工大学电气与信息工程学院	4	0	0.0	0.0
5	肖宏峰	长沙理工大学电气与信息工程学院	1	0	0.0	0.0
6	田迪凯	长沙理工大学电气与信息工程学院	2	0	0.0	0.0
7	张宇飞	长沙理工大学电气与信息工程学院	1	0	0.0	0.0