氧化镓微晶薄膜制备及其日盲深紫外探测器

• 作者: 毛彦琦 王加恒 符思婕 范嗣强 莫慧兰 赖黎
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化镓 微晶 光电性能 日盲紫外探测器
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1165-1171
• 页数: 7页
• 分类号: O482.31
• 字数: 2389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/fgxb20204109.1165

摘要

采用射频磁控溅射技术和热退火技术在石英衬底上制备了微晶态Ga2 O3薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱(Raman)、紫外-可见-红外分光光度计(UV-Vis-IR)以及X射线光电子能谱仪(XPS)等手段对薄膜结构、光学特性以及化学组分进行了系统研究.结果表明,制备的Ga2 O3薄膜呈非晶态,退火处理后,薄膜由非晶态转变为含β相Ga2 O3的微晶薄膜,随退火温度升高,薄膜内部微晶成分不断增加,但最终在石英衬底上制备的薄膜并未全部转换成全晶态薄膜(β-Ga2 O3).基于非晶和微晶Ga2 O3薄膜制备了金属-半导体-金属(MSM)结构的日盲深紫外探测器,发现非晶Ga2 O3薄膜基器件表现出更高的光响应,而微晶Ga2 O3薄膜基器件则具有更低的暗电流和更快的响应速度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范嗣强		20	47	4.0	5.0
2	赖黎	重庆师范大学物理与电子工程学院光电功能材料重庆市重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	莫慧兰	重庆师范大学物理与电子工程学院光电功能材料重庆市重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	符思婕	重庆师范大学物理与电子工程学院光电功能材料重庆市重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	毛彦琦	重庆师范大学物理与电子工程学院光电功能材料重庆市重点实验室	1	0	0.0	0.0
6	王加恒	重庆师范大学物理与电子工程学院光电功能材料重庆市重点实验室	1	0	0.0	0.0