磁控溅射制备不锈钢基耐蚀导电薄膜研究进展

• 作者: 余清洲 冯绅绅 干蜀毅 李斌 汪亮
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 耐蚀薄膜 导电薄膜 不锈钢基
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 11-17
• 页数: 7页
• 分类号: TG179
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2020.06.03

摘要

不锈钢基耐腐蚀导电薄膜被广泛应用于燃料电池双极板等器件,要求具有高的耐腐蚀性和导电性、良好的机械性能、加工成本低等特点.然而,目前的不锈钢基薄膜耐腐蚀性和导电性难以兼得,实现这两种性能的合理匹配,降低生产成本,是金属基薄膜商业化的关键环节之一.本文系统总结了磁控溅射制备不锈钢基耐腐蚀导电薄膜的研究进展,并从制备材料种类、工艺参数等方面进行了详细分析.文末还展望了不锈钢基耐腐蚀导电薄膜的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李斌		16	52	5.0	5.0
2	干蜀毅		59	703	12.0	25.0
3	汪亮		12	91	5.0	9.0
4	冯绅绅		1	0	0.0	0.0
5	余清洲		2	0	0.0	0.0