热流逸效应下不同截面形状微通道的流导特性分析

• 作者: 卢苇 王博韬 邢鹏浩
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 流导 热流逸效应 微通道 截面形状
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 478-484
• 页数: 7页
• 分类号: O356|TB752
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.05.15

摘要

热流逸真空泵利用其内部微通道结构产生的热流逸效应来工作,故其本身也存在流导.本文建立了几种典型截面形状长微通道和短微通道的流导计算模型,进而分析了流导随努森数、温差及微通道特征尺寸变化的规律.结果 表明,微通道在过渡流区域的流导比在自由分子流区域的大2～4个数量级;短微通道的流导性能优异长微通道的;绝大多数情况下,截面形状的对称性越强则其流导性能越好;在自由分子流区域,截面形状对流导的影响不大,但在过渡流区域,不同截面形状的流导差异显著.可见,应尽可能将热流逸真空泵设计在过渡流区域工作,且应优先采用截面形状对称性强的短微通道结构,但需要综合考虑努森数、温差和微通道特征尺寸之间的相互协同与制约.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢苇	广西大学机械工程学院	37	109	6.0	7.0
2	邢鹏浩	广西大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0
3	王博韬		1	0	0.0	0.0