基于体硅MEMS工艺的基片集成波导双工器

• 作者: 陆宇
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 体硅微电子机械系统(MEMS) 基片集成波导(SIW) 双工器 K/Ka波段 小型化
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 半导体器件
• 页码范围: 690-695
• 页数: 6页
• 分类号: TN385
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.09.006

摘要

基于体硅微电子机械系统(MEMS)工艺,采用多层基片集成波导(SIW)谐振腔的垂直堆叠耦合结构研制了一款工作在K/Ka波段的SIW双工器.实测结果表明:在K波段的接收通带内,该双工器插入损耗小于1.8 dB,带内回波损耗小于-15 dB;在Ka波段的发射通带内,其插入损耗小于2 dB,带内回波损耗小于-12 dB;收/发隔离度大于50 dB,实测结果与仿真结果较吻合.该体硅MEMS SIW双工器体积仅为5.8 mm×4.4 mm×1.0 mm,在满足性能指标要求的同时实现了小型化且易于与微波、毫米波系统集成.该双工器的收/发输入、输出端口为异面结构,能够实现收/发信号的全双工垂直传输,符合目前瓦片式相控阵天线中信号的传输特点,具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆宇	中国电子科技集团公司第十研究所	2	3	1.0	1.0