基于电容式微加速度计的信号调理电路的设计与标定

• 作者: 周泉 李桂安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 电容式微加速度计 信号调理电路 调试 标定
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 页码范围: 366-371
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3342字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2020.02.023

摘要

为了提高MENS微加速度计的各种性能,完成了基于电容式微加速度计的过载传感器信号调理电路的设计.设计了基于Model 1221电容式微加速度计的信号调理电路,通过静态和动态调试,在频率响应范围内的带内不平度≤±3 dB,超出频率响应范围的带外衰减≥30 dB/oct.最后通过传感器主动校准系统对传感器进行标定测试,测试结果显示:理论值与实际值的误差很小,系统的准确度很高,而且在±15 gn的测量范围内的输出电压满足(0.2±0.2)V～(4.8±0.2)V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周泉	三江学院电子信息工程学院	11	34	3.0	5.0
2	李桂安	东南大学电工电子实验中心	1	0	0.0	0.0