悬空车轮形氮化镓发光二极管

• 作者: 仇国庆 刘威 徐春祥 施政 朱刚毅 王永进 秦飞飞 袁佳磊
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 发光二极管 氮化镓 车轮形微腔 3dB带宽
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1146-1152
• 页数: 7页
• 分类号: TN312.8|O439
• 字数: 467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/fgxb20204109.1146

摘要

减少器件的界面损耗从而提升其发光性能一直是发光二极管领域一个重要的研究热点.本文采用标准半导体工艺在硅衬底上制备了GaN基车轮形发光器件.采用各向同性湿法蚀刻工艺将器件悬空,比较并研究了悬空对器件的性能,包括光强、半高宽、波长漂移、3 dB带宽等的影响.由于减小了光损耗,在悬空结构中腔效应更加明显,器件的电致发光和通信性能得到了提升.本研究对电驱动光源的制备和可见光通信具有重要意义.