基于三明治结构的ZnO紫外光电探测器

• 作者: 孙赫阳 张福隆 杨翘楚 王天枢
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 三明治结构 ZnO紫外光电探测器 响应度
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1153-1157
• 页数: 5页
• 分类号: O472.8
• 字数: 1776字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/fgxb20204109.1153

摘要

采用射频磁控溅射方法制备了三明治结构ZnO紫外光电探测器,即在传统金属-半导体-金属(MSM)单层ZnO紫外光电探测器的基础上再铺设一层ZnO薄膜,从而构建三明治器件结构.三明治结构ZnO紫外光电探测器响应度在5 V偏压下达到了0.05 A/W,暗电流为1.44×10-5 A,器件的整体性相比较传统单层ZnO紫外光电探测器得到了明显的改善.这主要归因于金属与半导体接触的耗尽区可以直接吸收入射光,提高了入射光的吸收效率,避免了传统上层电极对入射光的遮蔽作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天枢	长春理工大学空间光电国家地方联合工程研究中心	12	25	2.0	5.0
2	杨翘楚	长春理工大学空间光电国家地方联合工程研究中心	1	0	0.0	0.0
3	孙赫阳	长春理工大学空间光电国家地方联合工程研究中心	1	0	0.0	0.0
4	张福隆	长春理工大学空间光电国家地方联合工程研究中心	7	1	1.0	1.0