高温富Si环境中C/C复合纤维异化机理研究

• 作者: 康少付 张佃平 李杨 李进 苏少鹏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: C/C复合纤维 高温 异化 机理
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 700-704
• 页数: 5页
• 分类号: TQ342+.74
• 字数: 1309字
• 语种: 中文

摘要

随着直拉法热场尺寸的不断增大,单晶硅生产过程中已经大批量采用C/C复合埚帮替代石墨埚帮.但是,由于埚帮处在高温富Si环境中,经过一定时间后碳纤维出现异化现象,致使埚帮失效,高频次的更换增加了企业的生产成本.研究中利用XRD对碳纤维埚帮异化不同阶段物相进行分析,通过SEM对异化后的埚帮形貌进行观察,发现处在高温富Si氛围中的碳纤维变成了碳化硅.通过对单晶硅炉内流场和温度场分析,揭示了碳化硅的形成过程和机理.结合碳纤维硅化过程和反应机理分析了埚帮异化的主要原因,为后续高寿命埚帮设计和延长其使用寿命提供增强策略.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张佃平	宁夏大学机械工程学院	18	6	1.0	2.0
2	康少付	宁夏大学机械工程学院	11	16	2.0	3.0
3	李进		3	4	1.0	2.0
4	苏少鹏		1	0	0.0	0.0
5	李杨		1	0	0.0	0.0