基于条纹反射法的平面镜面形测量

• 作者: 孙鹏 燕必希 王君 董明利 饶喾
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 平面镜 面形检测 条纹反射法 法线偏差
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 668-673
• 页数: 6页
• 分类号: TN247|TP391.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.06.003

摘要

为了评价平面镜面形误差,采用基于条纹反射法的面形检测原理、通过平面镜法线偏移实现面形误差评价的方法.将正弦条纹投射至光屏,经被测平面镜反射至相机,通过小孔成像原理和四步相移法获得被测平面镜上一点的法线,并与经最小二乘算法面形重建的该点理论法线比较,获得该点法线偏移,利用法线偏移实现对平面镜的面形评价.对测量方法进行计算机仿真,以证明其正确性;搭建实验测量系统,并对某一款手机屏幕进行测量实验.结果表明,该测量方法的重复性精度优于1mrad,测量重复性高.该研究为玻璃面板等具有高反射特性的平面面形误差提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董明利		115	399	10.0	16.0
2	孙鹏		41	144	6.0	10.0
3	王君		50	89	5.0	7.0
4	燕必希		52	97	5.0	8.0
5	饶喾		1	0	0.0	0.0