利用微米划痕研究TiN涂层的失效机理

• 作者: 刘明 李烁 高诚辉
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 摩擦系数 TiN涂层 失效机理 微米划痕 断裂韧性
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 696-703
• 页数: 8页
• 分类号: TB93
• 字数: 2909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.06.11

摘要

利用微米划痕仪和扫描电子显微镜,研究了TiN涂层的失效过程,分析了摩擦系数波动的机理,并评估了涂层的断裂韧性.结果表明:低载荷阶段,TiN涂层发生剪切滑移,划痕轨迹边缘出现了由反向V形裂纹到平行裂纹,再到正向V形裂纹的裂纹形式转变;随着法向载荷的增大,TiN涂层发生阶梯式剥落.摩擦系数的波动主要由于表面形貌和涂层失效的影响,不同的加载方式,摩擦系数有一定差别.采用微米划痕可以较准确地测试TiN涂层的断裂韧性,与压痕断裂法和有限元模拟法的测试结果相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高诚辉	福州大学机械工程及自动化学院	183	1730	20.0	33.0
2	刘明	福州大学机械工程及自动化学院	9	5	1.0	1.0
3	李烁	福州大学机械工程及自动化学院	2	1	1.0	1.0